首页产品中心智慧工厂解决方案/ 双面抛光设备-12英寸双面抛光机
双面抛光设备 12英寸双面抛光机

精密双面抛光机是针对大尺寸硅片抛光工艺研发的机械化学抛光设备,是结合国际先进技术进行自主研发设计的,具有自主知识产权,主要用于12英寸单晶硅衬底片的双面精密抛光。

该设备采用激光测厚和面形检测对硅片的厚度及形貌进行实时监控,采用稳定可靠的PLC控制系统对设备进行精密控制。技术具有国际先进水平。

联系我们
jsjd@jsjd.cc 0575-82001901 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
版权所有浙江晶盛机电股份有限公司
浙ICP备11013988号-1
浙公网安备 33060402000390号
CopyRight 2017 All Right Reseved Design By:Hansun