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长晶设备 8英寸区熔硅单晶炉

FZ100D区熔炉是采用区熔法生长单晶硅的专用设备。该设备能实现抽真空,充正压、熔料、引晶、放肩、等径、收尾、停炉等过程自动控制。

国家科技重大02专项课题——8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制,该设备生长出国内首根8英寸半导体级区熔硅单晶棒,设备已实现量产销售。

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