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晶盛机电荣获浙江省科技进步一等奖
发布时间:2022-07-12 信息来源: 浏览次数:564




       7月11日,全省科技创新大会在省人民大会堂举行,大会公布了获得2021年度浙江省科学技术奖获奖名单,晶盛机电“大尺寸半导体级直拉硅单晶生长装备关键技术研发及产业化”喜获浙江省科技进步一等奖。



       集成电路产业是国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业,关乎国家的核心竞争力和国家安全。99%集成电路和97%的光伏电池,是直拉硅单晶生长装备生产的单晶硅材料制造而成。“低缺陷、高均匀性、高稳定性”是集成电路芯片制造对硅单晶衬底材料的核心技术要求,也是集成电路用大尺寸硅单晶衬底进口替代面临的最大难题。



       晶盛机电坚持以“打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业”为使命,自2007年首台TDR80A全自动单晶硅生长炉研发成功至今,依托国家科技重大02专项课题,联合浙江大学机械工程学院相关团队,经过15年的科研攻关和技术创新,历经了4代技术升级,掌握了单晶硅生长全自动控制技术、热场仿真技术等多项先进技术,实现了集成电路用8-12英寸半导体长晶炉的量产突破。


       2015年浙江大学机械工程学院与晶盛机电共建“机电装备创新研究中心”,发挥机械工程学院在机械工程领域全国领先的学科优势和公司创新研发的人力优势,在机电装备领域进行科研和人才培养,双方进一步加强校企产学研深度融合形成创新合力,加强科技成果转化与协同创新。此次“大尺寸半导体级直拉硅单晶生长装备关键技术研发及产业化”成果,是双方协同创新的结晶,也是硅单晶生长技术的再次升级,攻克了大尺寸半导体级硅单晶的高品质直拉生长及装备研发的关键技术难题,大尺寸硅单晶的低缺陷稳定生长控制技术、基于超导磁场的硅单晶生长均匀性调控技术、生长过程在线监控的单晶炉数字化智能平台等方面处于国际领先水平。



       公司将继续巩固晶体生长设备领域技术和规模优势,创造技术护城河,推动新产品迭代,提升对产业发展的引领能力,进一步延伸产品体系。同时,公司将持续布局“长晶、切片、抛光、CVD”四大核心环节设备的研发,在半导体关键设备领域实现国产化替代和规模化量产。


       晶盛机电将珍惜荣誉,持续贯彻“先进材料、先进装备”的发展战略,聚焦硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料深入布局核心装备和材料,重视研发和新产品新技术的开发,积极关注半导体装备各种新技术的发展,勇于担当科技自立自强使命,着力攻克关键核心技术难题,助力共同富裕和现代化先行,以优异成绩迎接党的二十大胜利召开。
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