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全自动晶体截断磨面复合加工一体机
SCM150S-ZJS

SCM150S-ZJS全自动晶体截断磨面复合加工一体机

 

全自动晶体截断磨端面复合加工一体机是国内首创的一种全自动2-6英寸晶棒截断磨端面复合加工的一体化设备,该设备集成了原来需要三台不同加工功能设备完成的晶棒截断、定向、磨端面等三道加工工序, 该设备可兼容多种半导体晶棒的加工,如:蓝宝石、单晶硅、碳化硅等。  

 

加工能力(Processing Capacity)

可加工的晶体尺寸规格(Crystal size that can be processed):

晶棒规格ingot size

晶棒直径

diameter

晶棒长度范围

Length scope

加工效率

Processing efficiency

2"晶棒

φ54mm

50mm400mm

1.5h/

4"晶棒

φ104mm

50mm400mm

3h/

6"晶棒

φ154mm

50mm400mm

4.5h/

8"晶棒

φ210mm

50mm400mm

6h/

 

加工精度Processing accuracy

定向相对于端面的轴向精度为(Orientation accuracy relate to the axial direction of transverse surface):≤0.05°

平面度(flatness):≤ 0.01mm

晶棒两端面平行度(Parallelism of ingot’s two-end surface):≤0.01mm

 

截断单元(Truncation unit)(锯片端Saw side

截断锯片外径尺寸(External diameter of truncating saw blade) Φ500mm

截断主轴头旋转速度(Spindle speed) 1200rpm

截断主轴头旋转电机功率(Power of truncation spindle’s rotational motor)7.5KW

 

磨端面单元(Grinding unit)(砂轮端Grinding wheel

磨端面主轴头砂轮外径尺寸(external diameter of grinding wheel) Φ230mm

磨端面主轴头旋转速度(Spindle speed) 1200rpm

磨端面主轴头旋转电机功率(Power of grinding spindle’s rotational motor)5.5KW

 

基本尺寸Basic Size

长(Length):4430mm

宽(Width):2700mm

高(Height):2675mm

整机重量(Weight):约15t

 

电源(Power) 

容量(Capacity)30KVA

频率(Frequency)50Hz

电压(Voltage):交流380V,三相四线制并有效接地

电缆(Cable):三相五线制电缆 单相≧16平方

 

冷却水Coolant Water:(符合GBT11446.1-1997 EW-Ⅳ标准工业纯水)

流量(Flow Rate)≧50/

进口压力(Inlet Pressure):2.5 bar,最大进口压力为3.5bar

进口温度(Inlet Temperature),最大为30℃,最小为21℃,推荐24

冷却水进水管内径Φ21.6mm不锈钢管

 

压缩空气Compressed Air

流量(Flow Rate)≧150/

供气压力(Pressure)≧5bar

采用Φ12mm的气动快速接头

 

吸尘排气管(Vacuum Exhausted Pipe) 

出气管道外径为Φ150mm(External Diameter of The Exhausted Pipe is Φ150mm)

 

冷却水排水管(Cooling Water Pipe)   

排管道外径为Φ50mm(透明钢丝管),3

(Internal Diameter of The Pipe is Φ50 mm)(Transparent Steel Wire Pipe)

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