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全自动半导体单晶硅截断机
ABS812-ZJS

ABS812-ZJS半导体单晶硅截断机

 

ABS812-ZJS型半导体单晶硅截断机是一款针对大尺寸半导体单晶硅棒截断的专用加工设备,可加工硅棒直径兼容8”和12”,硅棒最大加工长度可达3300mm。该设备采用带锯切割,具有截断、去头尾、切样片等功能,带锯切割具有切割效率高、断面质量好等特点。设备所采用的技术从日本齐藤精机株式会社引进,具有国际先进水平。  

 

加工能力(Processing Capacity

晶棒直径(Diameter of Ingot):200mm~300mm

晶棒长度(Length of Ingot)300-3300mm

截断长度(Truncate length)100~450mm

样片厚度(Thickness of sample)1.2~5mm

加工精度(Processing Accuracy

截断长度偏差(Deviation of Truncation Length):<1mm

截断面斜(Inclination of Truncation Surface):<0.5mm

样片厚度偏差(Deviation of  Thickness):<0.1mm

样片翘曲度(Warpage of Sample):<0.2mm

 

设备参数( Equipment Parameter )

(Length)8460mm

宽(Width):5400mm

高(Height):3600mm

设备重量(Weight):20t

 

加工能力(Processing Capacity

晶棒直径(Diameter of Ingot):200mm~300mm

晶棒长度(Length of Ingot)300-3300mm

截断长度(Truncate length)100~450mm

样片厚度(Thickness of sample)1.2~5mm

 

加工精度(Processing Accuracy

截断长度偏差(Deviation of Truncation Length):<1mm

截断面斜(Inclination of Truncation Surface):<0.5mm

样片厚度偏差(Deviation of  Thickness):<0.1mm

样片翘曲度(Warpage of Sample):<0.2mm

 

电源(Power

容量(Capacity):10KW

供电电源(Power Supply Voltage)380V/60HZ

 

冷却水(Coolant Water

流量(Flow Rate):≥15L/min

进水压力(Inlet Pressure):2.5-3.5bar

进水温度(Inlet Temperature):24±1°

 

压缩空气(Compressed Air

流量(Flow Rate):≥15L/min

压力(Pressure):≥5bar

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